氮化硅是一种高温陶瓷材料，结构类似于硅、二氧化硅，它的硬度大，熔点高，化学性质稳定，工业上曾普遍采用高纯硅与纯氮在1 300 ℃反应制得。
（1）根据性质，推测氮化硅的用途是（ ）
A.制汽轮机叶片 B.制有色玻璃
C.制永久性模具 D.制造柴油机
（2）氮化硅陶瓷抗腐蚀能力强，除氢氟酸外，它不与其他无机酸反应，试推测该陶瓷被氢氟酸腐蚀的化学方程式_______________________________________。
（3）用四氯化硅在氢气中与氮气反应（加强热）可制得较高纯度的氮化硅，反应的化学方程式为_____________________________________________________。
Si3N4+12HCl